洁净室内各种设施的布置应考虑对气流流型和空气洁净度的影响，应符合下列规定：
1、单向流洁净室内不宜布置洁净工作台，非单向流洁净室的回风口宜远离洁净工作台。
2、需排风的工艺设备宜布置在洁净室下风侧。
3、有发热设备时，应采取措施减少热气流对气流分布的影响。
4、余压阀宜布置在洁净气流的下风侧。
